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我司“干法蝕刻清洗液”產品榮獲第二十屆 工博會新材料優秀參展產品一等獎

瀏覽次數: 日期:2018-12-05
  第二十屆中國國際工業博覽會(以下簡稱“中國工博會”)于2018年9月19日-23日在國家會展中心(上海)舉行,中國工博會旗下分立8個專業展區,12個展館,其中新材料產業展充分利用中國工博會在先進裝備制造領域的平臺優勢,整合石油化工、機器人、信息技術、新能源、汽車、航空航天及國防軍工等產業鏈上下游資源,匯聚全球材料領先企業,集中展示頂尖材料技術在先進裝備制造領域的應用成果,打造一個全球材料產業應用的新平臺。
由松江區經濟委員會牽頭了松江9家企業,協同“G60科創走廊”參展中國工博會新材料產業展,9家材料企業來自不同行業,積極展示了各自領域中的亮點產品及尖端技術。上海新陽作為半導體材料企業也位列其中。
  中國工博會是經國務院批準的唯一具有評獎功能的大型工業博覽會。新材料是我國重點推進的戰略性新興產業之一,對于支撐整個戰略性新興產業發展,促進傳統產業轉型升級,保障國家重大工程建設,具有重要戰略意義。
  我司“SYS9058干法蝕刻清洗液”產品,榮獲第二十屆工博會新材料優秀參展產品一等獎,SYS9058是由多種活化物組成的高性能超純化學品,主要應用于芯片制程工藝中干法刻蝕與灰化后的清洗,特別對Cu/Low-k材料的清洗有效。在中芯國際130nm-28nm工藝生產線上已取代國際同類產品。此前,中芯國際此類材料完全依賴于進口。隨著本產品在各條大生產線上通過驗證,用量上量,取代進口,打破國際行業壟斷,本產品必將為我國集成電路產業的發展奠定基礎,為促進國家戰略和信息安全作出應有貢獻,產品市場前景值得期待!

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